特長
脆性材料部品の微細穴加工に特化した『グラインディングセンター』
●半導体・光学・医療関連など脆性材料部品の加工
● 石英ガラス、サファイア、各種セラミックス、Siウエハに対応
●Φ1.0以下の多数の微細穴をダイヤモンド電着砥石にて加工
主な仕様
容量
X軸方向移動量 | 500 mm (OP: 700 mm) |
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Y軸方向移動量 | 400 mm |
Z軸方向移動量 | 350 mm |
テーブル
作業面の大きさ | 800 x 400 mm |
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工作物許容質量 | 330kg |
主軸
回転速度 | 15000min-1 24000min-1 |
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送り速度
早送り速度(X,Y,Z) | 20 m/min |
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自動工具交換装置
ツールシャンク | BBT-30 |
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工具収納本数 | 15(標準)/21(オプション) |
制御装置
CNC装置 | FANUC 0i-MF Plus |
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その他
センサー付熱変位補正 | |
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リニアスケール(OP) | |
クーラント温調(OP) |